蔡慧媚28岁守寡,也成为姜家最年轻的寡妇,见证了姜家王朝最后一丝辉煌。
看着田旭东同学在足球场上纵横驰骋大杀四方,捧走了大力神杯成为了新一代球王,叶华功德圆满回到了台积电设置在氹仔岛的合作实验室搞研发。
前两年刚完成了浸入式光刻技术,现在叶华又要带领台积的供应商ASML光刻机研发部门进入EUV(极深紫外)时代。
ASML为叶华旗下的高通、华技、台积电、东方电子等半导体生产商提供光刻机及相关服务,TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TWINSCAN机型,比如叶华旗下的高通、华技、海力士(Hynix)、台积电(TSMC)、中芯国际(SMIC)等,同时也在各地成立了合作实验室。
ASML的产品线分为PAS系列、AT系列、XT系列和NXT系列,其中PAS系列光源为高压汞灯光源,现已停产;AT系列属于老型号,多数已经停产。市场上的主力机种是XT系列以及NXT系列,为ArF和KrF激光光源,XT系列是成熟的机型,分为干式和沉浸式两种,而NXT系列则是现在主推的高端机型,全部为沉浸式。目前已经商用的最先进机型是TwinscanNXT1950i,属于沉浸式光刻机,用来生产关键尺度低于38纳米的集成电路。
ASML正在加紧研制基于极深紫外(EUV)光源的新型光刻机,型号定为NXE系列。如果量产成功,将成为划时代的产品,有望将关键尺寸缩小至10nm以下,并且可以显著提高集成电路质量。
众所周知,光刻是集成电路芯片制造的核心工艺。光刻机的成本占到了整个芯片生产的三分之一以上。而在光刻机的市场上,白婷在1977年就帮叶华注册的ASML公司,而如今占到了全球光刻机80%以上的市场。
1960年代集成电路技术诞生后,最早的光刻工艺还不算什么尖端科技。叶华早期收购的仙童和IBM这些第一代芯片公司都是自己设计光刻工具,只有GCA,KS和Kasper等少数公司开发一些独立的光刻设备。进入1970年代,光刻机成为不少米国公司竞争的焦点。先是Kasper推出接触式光刻设备,但是很快,接触式被接近式机台所淘汰,因为掩模和光刻胶的接触会很容易带来污染。接下来PerkinElmer(PE)推出投影式光刻系统,迅速占领市场。
1978年,仙童的光刻部门剥离出去,并入了ASML公司,很快推出步进式光刻机,光刻机的分辨率达到了1微米。但是由于狌能问题,暂时没能撼动PerkinElmer投影式光刻机的市场领先度,直到进入80年代后,ASML公司又推出更成熟的步进式光刻机NSR-1010G,投影式光刻机的市场才开始萎缩。整个80年代上半期,尼康,GCA也开始进入光刻机全球市场。
也是在这个时候,ASML总公司搬迁到了荷兰埃因霍温,推出TWINSCAN系统和割命性的双段(dual-stage)技术,在对一块晶圆曝光的同时测量对准另外一块晶圆,从而大大提升了系统的生产效率和精确率。并投入全自动化生产和飞利浦展开竞争,飞利浦想象不到5年,叶华的ASML公司会发展这么迅猛,把他们挤得只有1%的市场份额。1983年4月1日,ASML公司蛇吞象般收购了电子巨人荷兰飞利浦公司。
在仙童公司还未改名成外星人公司签,光刻部门最初只有31名员工。收购了飞利浦的ASML公司第一年,就推出了浸入式光刻技术。当然,这套系统并不是凭空而来,仙童关于光刻系统的研发工作早在1960年代就开始了,事实上仙童最初的注资中有180万美元就是用尚未研发完成的浸入式光刻技术的。
去年,公司发展到1000多员工,搬入位于Veldhoven新建的机器人厂房,这个地方距离飞利浦研发实验室只有几公里远,公司推出改进了对准系统的PAS2500步进型,奠定了随后多项技术创新的基础。也在那一年,ASML同外星人和雅马哈的摄像头部门建立了稳定的合作关系。
今年ASML的国际化拓展越发成功。他们跟随飞利浦在宝岛的合资流片工厂台积电开拓了亚洲业务,在米国的员工数增加到840人,建立了十五个办公室。为高通、台积电等公司送来急需的上万台光刻机订单。
从此ASML完全自立,他们的客户数遍布全球,订单排到了三年后,成为主导国际光刻机市场的一哥。叶华旗下多个高科技公司崛起,把其他半导体公司逼迫得无路可退,原先主导光刻机市场的美国光刻机厂商GCA,Ultratech和PE光刻部先后退出或者缩小规模。日本的尼康和佳能也不能幸免,已经三个月没有接到订单,尼康承受不了巨额投资却不见回报决定退出,佳能也宣布庞大的成本削减计划,工人们开始放长假。为了挽救公司,尼康和佳能的管理层找到了台积电的董事会成员林秋霞,通过她说服其他董事决策为他们公司再提供一笔资金和技术。
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